光刻中的数值孔径是怎样定义的？ Posted on 2025-05-122025-05-12 by ICT百科 在半导体光刻工艺中，当光线穿过掩膜版上的孔洞或经过锐利边缘时，光强分布会因衍射效应而改变方向。同时，衍射夺走了… Read more