Skip to content

ICT百科

通信与信息领域内的知识性网站

Menu
  • 首页
  • AI与算力
  • 光纤
  • 无线移动
    • 3G
    • 5G
    • 4G
    • xRAN
  • 6G
  • 光通信
    • WDM
    • PON
  • 交换路由
  • 半导体
  • 光器件与模块
  • 核心网
  • 原理
  • 物联网
  • 云计算
  • 通信人物
  • 设计与工程
  • 科谱
  • 通信百科文库
  • 通信企业
Menu

什么是窄沟道效应?

Posted on 2025-05-122025-05-12 by ICT百科


沟道宽度(Channel Width,通常用W表示)是金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)中源极(Source)与漏极(Drain)之间导电沟道的横向物理尺寸,即垂直于载流子流动方向的宽度。

当沟道宽度W缩小至接近耗尽层横向扩展尺度时,阈值电压V_T会随W的减小而显著升高,此现象称为阈值电压的窄沟道效应。其物理根源在于场氧隔离(LOCOS)结构的厚氧化层限制沟道边缘耗尽层扩展,迫使栅压需额外补偿边缘势垒以实现全沟道反型。

需注意区别于短沟道效应——后者由沟道长度L缩减引发,表现为栅控能力退化导致的V_T下降及漏致势垒降低(DIBL)。

PS:短沟道效应是纵向尺寸 L 微缩引发的栅控失效,表现为 VT下降及泄漏失控;窄沟道效应则是横向尺寸 W 缩减下的边缘场畸变,导致 VT反常升高。

而窄沟道效应,是因为当沟道宽度 W 变小,阈值电压 V 的增加主要由场氧下储存电荷引起的。

需要说明的是,短沟道效应与器件隔离方式相关,对于场氧隔离会出现窄沟道效应,对于沟槽隔离的器件,基本不会出现窄沟道效应,阈值电压一般 不会随着W变小而变大.

Category: 半导体

发表回复

要发表评论,您必须先登录。

🚀 有问题就有答案,点击提问 →

博主
李东霏
【香农信息技术研究院】

标签

4G 5G 5G NR 5G前传 5G承载 6G 50G PON 400G 800G DWDM F5G FDD FlexE G.654E G.709 GPON ISI LTE MIMO MPLS ODN Open RAN OSNR OTN PON ROADM Segment Routing SPN SRv6 TDD WDM 光与技术 光模块 光纤 区块链 华为 参考信号 同步 天线增益 数据中心 波长 相干技术 空芯光纤 诺基亚 路由器
您尚未收到任何评论。

友情链接:通往ICT之路文库,大功率电源培训,

© 2025 ICT百科 | 蜀ICP备2020035321号-1
微信支付
请使用 微信 扫码支付