什么是缺口效应Notching Effect,如何抑制 ? Posted on 2024-07-192024-07-20 by 李, 东霏 在SOI(硅上绝缘体)技术中,硅片由两层单晶硅和中间的二氧化硅层组成。这种结构使得器件层和衬底层之间通过二氧化… Read more