在前天我们的文章”到底什么是掩膜板？“中，说到掩膜板类似老式相机的”底片“，其实光刻领域还有类似于我们”相纸“的东西，即”光刻胶”。 光刻胶涂布在晶圆上，然后对其进行照射曝光，可以将底片上的图形”拓印”到”相纸”上。

光刻胶有一个比较正式的名字，叫光致抗蚀剂，英文Photoresist，简称P. R。所以在有些地方看到”抗蚀剂”也要知道它指的就是光刻胶。另外，根据它在光能量束照射下反应的不同[……]

继续阅读